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一种测试硅锭提纯工艺出成率的方法技术
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文档序号:11287218
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本发明涉及一种测试硅锭提纯工艺出成率的方法,在提纯后的硅锭上寻找电阻率跃变点,电阻率跃变点的高度除以硅锭总高度即为硅锭提纯工艺的出成率。此方法采用硅材料测试仪或电阻率测试仪测试硅锭电阻率,通过电阻率跃变点对应的硅锭高度除以硅锭总高度即得出硅...
该专利属于青岛隆盛晶硅科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过青岛隆盛晶硅科技有限公司授权不得商用。
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