温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明是一种大视场大数值孔径紫外光投影光刻物镜镜头，其光学结构为双方远心结构，物像共轭总长为l＝1500mm；其中物方视场为Φ120mm，物方数值孔径NA＝0.1。本镜头放大倍率β＝-1×，即按原比例成倒像于像面且质量较好，分辨力σ<...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。