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一种基于陷阱产生机制的半导体器件其制造方法及应用技术
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文档序号:11241953
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本发明公开了一种基于陷阱产生机制的半导体器件其制造方法及应用,衬底区上一侧设有电学悬浮掺杂区,另一侧设有漏端掺杂区,电学悬浮掺杂区和漏端掺杂区中间为陷阱层,栅介质绝缘层覆盖在电学悬浮掺杂区和陷阱层之上,其上并设有栅端金属电极层,漏端掺杂区上...
该专利属于西安邮电大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安邮电大学授权不得商用。
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