下载一种用于除去单晶硅片表面有机物的漂洗液及清洗方法的技术资料

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本发明公开了一种用于除去单晶硅片表面有机物的漂洗液及清洗方法,其中漂洗液包括体积分数如下的组分:双氧水:2.30份-4.5份;氢氧化钾:0.20份-1.15份;纯水:94.35份-97.5份,双氧水的质量百分数为30%,氢氧化钾的质量百分数...
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