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本实用新型公开了一种蚀刻、显影、清洗以及褪膜设备、喷淋处理设备,该喷淋处理设备包括支撑装置和喷淋装置,支撑装置用于支撑待处理的基材,且支撑装置的支撑平面相对水平面倾斜设置,以使得基材与水平面成预定角度倾斜;喷淋装置用于向倾斜设置的基材喷淋处...该专利属于安徽省大富光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过安徽省大富光电科技有限公司授权不得商用。
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