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本发明提供一种射频脉冲系统的阻抗匹配方法，该方法包括：S1、根据预先获取的阻抗匹配时所述反应腔的阻抗变化规律和当前脉冲期间阻抗匹配时所述反应腔的阻抗值，获得在下一个脉冲期间且阻抗匹配时，所述反应腔的阻抗的预测范围；S2、根据所述下一个脉冲期...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。