下载异构电机共定子多驱动宏微一体化高速精密运动二维平台的技术资料

文档序号:11208783

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本发明提出一种异构电机共定子多驱动宏微一体化高速精密运动二维平台,包括X/Y向基座、X/Y向导轨、滑块、U型直线电机、平板电机、U型直线电机定子、宏动动子、微动动子和宏微一体化平台。所述宏动平台与所述微动平台通过弹性构件联接形成一体化平台,...
该专利属于广东工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过广东工业大学授权不得商用。

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