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本文描述用于固持晶片或晶片子堆叠以便于进一步处理所述晶片子堆叠的技术。在一些实施中，晶片或晶片子堆叠由真空吸盘以可帮助减少所述晶片或晶片子堆叠的弯曲的方式固持。...
该专利属于赫普塔冈微光有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过赫普塔冈微光有限公司授权不得商用。

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