下载一种炭微树的制备方法的技术资料

文档序号:11205328

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本发明公开了一种利用化学气相沉积制备炭微树的方法,将碳源气体,利用氢气作为载气,从立式加热炉底部通入沉积室内,在850-1000℃恒温空间内沉积生长炭微树,碳源气体和氢气的比为1:(3~8),沉积室是筒状的石墨件,基体放置在石墨筒的内壁上;...
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