下载半导体测试结构的技术资料

文档序号:11204223

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一种半导体测试结构,包括:衬底,位于衬底上的若干个MOS晶体管和若干个测试焊盘;所述MOS晶体管的第一电极、第二电极和第三电极与测试焊盘电学连接,一个测试焊盘至少与一个MOS晶体管的第一电极、第二电极或第三电极电学连接,且一个MOS晶体管的...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。

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