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提供一种技术，能够以更少的人力进行从作业装置的表面安装机向检查机的更换作业及从检查机向表面安装机的更换作业。本说明书公开了一种能够作为作业头而安装于用于对基板进行作业的作业装置以检查基板的表面状态的检查头。该检查头搭载有：相机，拍摄基板而取...
该专利属于富士机械制造株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过富士机械制造株式会社授权不得商用。

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