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文档序号:11203531

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本发明提供一种半导体装置,其能够低廉地进行制造且是降低了反馈电容的沟槽栅型。具有:半导体基板,其是层叠第1半导体区、第2半导体区、第3半导体区、以及第4半导体区而成的;绝缘膜,其配置在槽的内壁上,该槽从第4半导体区的上表面延伸,贯通第4半导...
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