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本发明提供一种采用半导体探针测试量子电池的装置和方法，其中，能够在量子电池的制作工艺中途评价充电层的电特性而不引起损伤。在由电极(54)和金属氧化物半导体(56)层叠在支持体(52)上所构成的半导体探针(50)上，使用与量子电池相同的材料制...该专利属于日本麦可罗尼克斯股份有限公司;刮拉技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过日本麦可罗尼克斯股份有限公司;刮拉技术有限公司授权不得商用。