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本发明提供了一种导电氧化锆旋转靶材，该靶材成分为ZrOx，所述靶材密度为5.18—5.8g/cm3，其中，1.2≤X≤1.8。本发明还提供了一种导电氧化锆旋转靶材的制备方法，包括：氧化锆喷涂粉的制备；喷涂基体的处理；喷涂打底层；用等离子喷涂...
该专利属于北京恒隆科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京恒隆科技有限公司授权不得商用。

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