下载用于检测有缺陷的基板的液晶调制器和具有其的检查设备的技术资料

文档序号:11196902

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本发明提供了一种用于检测基板的缺陷的检查设备和液晶调制器。该检查设备包括液晶调制器、发光单元、分束器和测量单元。液晶调制器包括反射层、液晶层、电极和偏振器。反射层反射光。感应层包括混合排列向列相液晶。电极设置在液晶层上。偏振器设置在电极上。...
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