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一种提高聚合物和氧化铝陶瓷真空沿面闪络特性的方法技术
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文档序号:11194014
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一种提高聚合物和氧化铝陶瓷真空沿面闪络特性的方法。该方法利用电子回旋共振离子源引出的大面积均匀束,注入至聚四氟乙烯或氧化铝陶瓷绝缘材料表面,对绝缘材料表面进行改性。注入能量为80keV,注入离子为N离子和C离子。本发明可用于真空高压绝缘器件...
该专利属于中国科学院电工研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院电工研究所授权不得商用。
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