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本发明提供一种偏离(111)硅片解理晶向的高强度悬臂梁结构及制作方法,所述悬臂梁结构包括:(111)单晶硅片;至少一根悬臂梁,悬臂梁沿特定的晶向分布于(111)单晶硅片上,使得悬臂梁的横截面偏离(111)单晶硅片的解理面。本发明解决了以往单...该专利属于中国科学院上海微系统与信息技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海微系统与信息技术研究所授权不得商用。
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本发明提供一种偏离(111)硅片解理晶向的高强度悬臂梁结构及制作方法,所述悬臂梁结构包括:(111)单晶硅片;至少一根悬臂梁,悬臂梁沿特定的晶向分布于(111)单晶硅片上,使得悬臂梁的横截面偏离(111)单晶硅片的解理面。本发明解决了以往单...