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微波导入组件中的S参数取得方法和异常检测方法技术
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文档序号:11180588
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等离子体处理装置(1)包括处理容器(2)和具有多个微波导入组件(61)的微波导入装置(5)。向多个微波导入组件(61)中的每个导入微波,基于该微波和从处理容器(2)反射至多个微波导入组件(61)的反射微波,求取多个微波导入组件(61)的每个...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。
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