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成膜方法和成膜装置制造方法及图纸
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文档序号:11179225
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在步骤1的升压步骤中,利用PCV(54)对原料容器(60)内供给运载气体,使原料容器(60)内上升至第一压力P1。在步骤2的降压步骤中,使排气装置(35)工作,从原料气体供给管(71)经由排气旁通管(75)将原料气体废弃,使原料容器(60)...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。
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