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一种镀膜装置，其至少包括一支撑架、多个放置并固定晶片的载盘，其特征在于：所述支撑架上设置多条轨道，轨道端部置有固定件，所述载盘边缘与轨道吻合，通过固定件固定于支撑架形成伞状载体；所述载盘包括放置晶片的晶片固定区和固定晶片的抽真空装置。利用上...
该专利属于安徽三安光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽三安光电有限公司授权不得商用。

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