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衬底分离检查方法、衬底分离设备及柔性显示器制造方法技术
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文档序号:11170368
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本发明提供了衬底分离检查方法、衬底分离设备以及柔性显示器制造方法。根据本发明的另一方面提供的衬底分离设备包括衬底组件、激光照射单元、检测单元、以及确定单元,其中衬底组件具有第一衬底以及附接至第一衬底的第二衬底,激光照射单元将激光照射至衬底组...
该专利属于三星显示有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三星显示有限公司授权不得商用。
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