衬底分离检查方法、衬底分离设备及柔性显示器制造方法技术

本发明专利技术提供了衬底分离检查方法、衬底分离设备以及柔性显示器制造方法。根据本发明专利技术的另一方面提供的衬底分离设备包括衬底组件、激光照射单元、检测单元、以及确定单元，其中衬底组件具有第一衬底以及附接至第一衬底的第二衬底，激光照射单元将激光照射至衬底组件，检测单元获得第一衬底和/或第二衬底的光学特性信息，确定单元基于通过检测单元获得的光学特性信息确定第一衬底与第二衬底的分离状态是否正常。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及衬底分尚方法、衬底分尚设备及使用该衬底分尚方法和该衬底分尚设备制造柔性显示器的方法，更具体地，涉及用于使第一衬底与第二衬底分离并检查第一衬底与第二衬底的分离状态的衬底分离检查方法、用于使第一衬底与第二衬底分离的衬底分离设备以及使用该衬底分离检查方法和该衬底分离设备制造柔性显示器的方法。
技术介绍
近年来，全球显示器市场已经迅速向平板显示器(FPD)转变，平板显示器易于制造为大型、轻薄的显示器。 FPD包括液晶显示器(IXD)、等离子体显示板(I3DP)、和有机发光显示器(OLED)。然而，由于大多数典型的LCD、rop、或OLED使用玻璃衬底，所以它们不是柔性的，因此使用范围或应用范围受限。 与此同时，柔性显示器已发展成为下一代显示器。柔性显示器使用由柔性材料(如塑料材料或箔)形成的柔性衬底，而不是使用玻璃衬底，因此可弯曲或扭曲。 柔性显示器需要柔性衬底。然而，由于柔性衬底具有有限的耐热性，所以应用用于使用在用于玻璃衬底的板制造中的柔性衬底并不容易。为了解决这种挑战，已研究了多种方法以通过使用玻璃衬底作为基底然后移除玻璃衬底从而在板形成之本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种衬底分离检查方法，包括：制备衬底组件，所述衬底组件包括第一衬底以及附接至所述第一衬底的第二衬底；施加用于使所述第一衬底与所述第二衬底分离的激光至所述衬底组件；获得所述第一衬底或所述第二衬底的光学特性信息；以及基于所述光学特性信息，识别所述第一衬底与所述第二衬底的分离状态。

【技术特征摘要】
2013.08.28 KR 10-2013-01024011.一种衬底分离检查方法，包括: 制备衬底组件，所述衬底组件包括第一衬底以及附接至所述第一衬底的第二衬底； 施加用于使所述第一衬底与所述第二衬底分离的激光至所述衬底组件； 获得所述第一衬底或所述第二衬底的光学特性信息；以及 基于所述光学特性信息，识别所述第一衬底与所述第二衬底的分离状态。2.如权利要求1所述的衬底分离检查方法，其中， 获得所述第一衬底或所述第二衬底的光学特性信息的步骤包括:施加光至所述第一衬底或所述第二衬底的一侧以及接收从所述第一衬底或所述第二衬底的所述一侧反射的所述光；以及 识别所述第一衬底与所述第二衬底的分离状态的步骤包括:将所述光学特性信息与参考光学特性信息相比较，其中所述光学特性信息包括所述第一衬底或所述第二衬底的颜色信息。3.一种衬底分离设备，包括: 激光照射单元，配置成施加激光至衬底组件，所述衬底组件包括第一衬底以及附接至所述第一衬底的第二衬底； 检测单元，配置成获得所述第一衬底或所述第二衬底的光学特性信息；以及 确定单元，配置成基于所述光学特性信息，识别所述第一衬底与第二衬底的分离状态。4.如权利要求3所述的衬底分离设备，其中， 所述检测单元包括光学传感器，所述光学传感器配置成从所述第一衬底或所述第二衬底的表面获得所述光学特性信息，并且所述光学传感器配置成包括: 光发射器，用于向所述第一衬底或第二衬底的表面发射光；以及 光接收器，用于接收从所述第一衬底或所述第二衬底的表面反射的光， 其中所述光学特性信息包括所述第一衬底或所述第二衬底的表面的颜色信息，所述光学传感器还配置成获得所述颜色信息。5.如权利要求3所述的衬底分离设备，其中， 所述确定单元还配置成通过将所述光学特性信息与参考光学特性信息相比较，以识别所述第一衬底与所述第二衬底的分离状态，其中所述光学特性信息包括所述第一衬底或所述第二衬底的表面的颜色信息。6.如权利要求3所述的衬底分离设备，其中所述激光照射单元、所述检测单元和所述确定单元中至少之一设置有多个。7.—种衬...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙贞洛，姜镐龙，金桢晧，张硕元，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR