衬底分离检查方法、衬底分离设备及柔性显示器制造方法技术

本发明专利技术提供了衬底分离检查方法、衬底分离设备以及柔性显示器制造方法。根据本发明专利技术的另一方面提供的衬底分离设备包括衬底组件、激光照射单元、检测单元、以及确定单元，其中衬底组件具有第一衬底以及附接至第一衬底的第二衬底，激光照射单元将激光照射至衬底组件，检测单元获得第一衬底和/或第二衬底的光学特性信息，确定单元基于通过检测单元获得的光学特性信息确定第一衬底与第二衬底的分离状态是否正常。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及衬底分尚方法、衬底分尚设备及使用该衬底分尚方法和该衬底分尚设备制造柔性显示器的方法，更具体地，涉及用于使第一衬底与第二衬底分离并检查第一衬底与第二衬底的分离状态的衬底分离检查方法、用于使第一衬底与第二衬底分离的衬底分离设备以及使用该衬底分离检查方法和该衬底分离设备制造柔性显示器的方法。
技术介绍
近年来，全球显示器市场已经迅速向平板显示器(FPD)转变，平板显示器易于制造为大型、轻薄的显示器。 FPD包括液晶显示器(IXD)、等离子体显示板(I3DP)、和有机发光显示器(OLED)。然而，由于大多数典型的LCD、rop、或OLED使用玻璃衬底，所以它们不是柔性的，因此使用范围或应用范围受限。 与此同时，柔性显示器已发展成为下一代显示器。柔性显示器使用由柔性材料(如塑料材料或箔)形成的柔性衬底，而不是使用玻璃衬底，因此可弯曲或扭曲。 柔性显示器需要柔性衬底。然而，由于柔性衬底具有有限的耐热性，所以应用用于使用在用于玻璃衬底的板制造中的柔性衬底并不容易。为了解决这种挑战，已研究了多种方法以通过使用玻璃衬底作为基底然后移除玻璃衬底从而在板形成之后将柔性施加至板。
技术实现思路
本专利技术的多个方面提供了衬底分离检查方法，在该方法中可获得第一衬底和/或第二衬底的光学特性信息，并且可基于获得的光学特性信息确定第一衬底与第二衬底的分离状态。 本专利技术的多个方面还提供了衬底分离设备，其可实时地确定第一衬底与第二衬底的分离状态是否正常。 本专利技术的多个方面还提供了制造柔性显示器的方法，其可通过在柔性显示器的制造过程中实时识别衬底的分离状态降低不良率并提高生产率。 然而，本专利技术的多个方面并不限于本文中所阐述的方面。通过参照下面给出的本专利技术的详细描述，本专利技术的以上及其他方面将对本领域普通技术人员变得更加显而易见。 根据本专利技术的一方面，提供了衬底分离检查方法，其包括制备衬底组件、施加激光至衬底组件、获得第一衬底和/或第二衬底的光学特性信息以及识别第一衬底与第二衬底的分离状态。 根据本专利技术的另一方面，提供了衬底分离设备，其包括衬底组件、激光照射单元、检测单元、以及确定单元，其中衬底组件具有第一衬底以及附接至第一衬底的第二衬底，激光照射单元向衬底组件施加激光，检测单元获得第一衬底和/或第二衬底的光学特性信息，确定单元基于通过检测单元获得的光学特性信息确定第一衬底与第二衬底的分离状态是否正常。 根据本专利技术的另一方面，提供了制造柔性显示器的方法，其包括结合第一衬底与第二衬底、在第二衬底上形成TFT阵列、在第二衬底的上表面上附接上保护膜、执行用于使第一衬底与第二衬底分离的主衬底分离操作、在第二衬底的下表面上附接下膜、以及执行用于使上保护膜与第二衬底的上表面分离的次衬底分离操作。 通过下面的详细描述、附图和权利要求书，其他特征和方面将变得显而易见。 根据实施方式，通过获得第一衬底和/或第二衬底的光学特性信息，几乎可实时确定第一衬底和第二衬底是否已适当地彼此分离。 此外，通过实时识别第一衬底与第二衬底的分离状态，可降低柔性显示器的不良率。 【附图说明】 通过参照附图详细描述本专利技术示例性实施方式，本专利技术的以上及其他方面和特征将变得更加显而易见，在附图中: 图1是示出了根据一个实施方式的衬底分离检查方法的流程图； 图2是示出了根据一个实施方式的可使用在衬底分离检查方法中的衬底组件的首丨J视图; 图3和图4是示出了图2所示衬底组件的修改示例的剖视图； 图5是示出了根据另一实施方式的可使用在衬底分离检查方法中的衬底组件和激光照射单元的剖视图； 图6是示出了根据另一实施方式的可使用在衬底分离检查方法中的衬底组件和激光照射单元的剖视图； 图7是示出了根据另一实施方式的衬底组件和光学传感器的剖视图； 图8是示出了图7所示的衬底组件和光学传感器的修改示例的剖视图； 图9是示出了根据一个实施方式的第二衬底的平面图； 图10是示出了根据一个实施方式的衬底分离设备的框图； 图11是示出了根据另一实施方式的衬底分离设备的部分平面图； 图12是示出了根据另一实施方式的衬底分离设备的立体图； 图13是示出了根据另一实施方式的衬底分离设备的平面图；以及 图14是示出了根据一个实施方式的制造柔性显示器的方法的流程图。 【具体实施方式】 通过将参照附图进行详细描述的实施方式，本专利技术的方面和特征及用于实现这些方面和特征的方法将变得显而易见。然而，本专利技术不限于下文中所公开的实施方式，而是可以多种形式实施。说明书中限定的内容，如详细的构造和元件，仅用于帮助本领域普通技术人员理解本专利技术的具体细节，本专利技术仅限定在所附权利要求书的范围内。 用于指定一个元件在另一元件上或位于不同层或层上的用语“在…上”包括一个元件直接位于另一元件或层上，和一个元件通过另一层或又一元件位于另一元件上的情况。在本专利技术的整体描述中，在各种附图中，相同的附图标记用于相同的元件。 虽然用语“第一、第二等”用于描述不同的组成元件，但是这些组成元件不受用语的限制。这些用语仅用于将一个组成元件与其他组成元件区分开。因此，在以下描述中，第一组成元件可以是第二组成元件。 通过参考附图和示例性实施方式的以下详细描述，可更容易地理解本专利技术的优点和特征以及实现本专利技术的优点和特征的方法。 图1是示出了根据实施方式的衬底分离检查方法的流程图。 参照图1，衬底分离检查方法包括:制备衬底组件(SlO)、施加激光至衬底组件(S20)、获得第一衬底和/或第二衬底的光学特性信息以及识别第一衬底与第二衬底的分离状态(S40)。 下文中将详细描述衬底分离检查方法的每个步骤。 衬底组件被制备(SlO)。衬底组件包括第一衬底以及附接至第一衬底的第二衬底。下文中将参照图2描述衬底组件的结构。 图2是示出了根据一个实施方式的可使用在衬底分离检查方法中的衬底组件的首1J视图。 参照图2，衬底组件S包括第一衬底10以及附接至第一衬底10的第二衬底20。 第一衬底10可由绝缘材料如玻璃形成。第一衬底10被固定至第二衬底20上，因此防止第二衬底20在处理时弯曲或扭曲。由于第二衬底20的形状可通过第一衬底10被固定，所以用于制造薄膜阵列的后续工序可精确且稳定地执行。 第二衬底20附接至第一衬底10。第二衬底20可以是柔性衬底。例如，第二衬底20可包括选自Kapton、聚醚砜(PES)、聚碳酸酯(PC)、聚酰亚胺(PI)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、聚丙烯酸酯(PAR)和纤维增强塑料(FRP)的至少一种材料。 图3和图4是示出了图2所示衬底组件S的修改示例的剖视图。 参照图3，衬底组件S’还可包括插设在第一衬底10与第二衬底20之间的粘合剂层15。 粘合剂层15可由透光材料形成。粘合剂层15可具有透射性，以使得其可使具有具体波长的激光透过。粘合剂层15可以是耐热的，并可具有220°C或更高的玻璃化转变温度。例如，粘合剂层15可包括硅酮基或丙烯基聚合物粘合剂。 在一个实施方式中，玻璃化转变温度为220°C或更高的聚硅酮粘合剂可用作粘合剂层15。聚硅酮粘合剂包括作为其主要成分的聚二甲基硅氧烷(PD本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种衬底分离检查方法，包括：制备衬底组件，所述衬底组件包括第一衬底以及附接至所述第一衬底的第二衬底；施加用于使所述第一衬底与所述第二衬底分离的激光至所述衬底组件；获得所述第一衬底或所述第二衬底的光学特性信息；以及基于所述光学特性信息，识别所述第一衬底与所述第二衬底的分离状态。

【技术特征摘要】
2013.08.28 KR 10-2013-01024011.一种衬底分离检查方法，包括: 制备衬底组件，所述衬底组件包括第一衬底以及附接至所述第一衬底的第二衬底； 施加用于使所述第一衬底与所述第二衬底分离的激光至所述衬底组件； 获得所述第一衬底或所述第二衬底的光学特性信息；以及 基于所述光学特性信息，识别所述第一衬底与所述第二衬底的分离状态。2.如权利要求1所述的衬底分离检查方法，其中， 获得所述第一衬底或所述第二衬底的光学特性信息的步骤包括:施加光至所述第一衬底或所述第二衬底的一侧以及接收从所述第一衬底或所述第二衬底的所述一侧反射的所述光；以及 识别所述第一衬底与所述第二衬底的分离状态的步骤包括:将所述光学特性信息与参考光学特性信息相比较，其中所述光学特性信息包括所述第一衬底或所述第二衬底的颜色信息。3.一种衬底分离设备，包括: 激光照射单元，配置成施加激光至衬底组件，所述衬底组件包括第一衬底以及附接至所述第一衬底的第二衬底； 检测单元，配置成获得所述第一衬底或所述第二衬底的光学特性信息；以及 确定单元，配置成基于所述光学特性信息，识别所述第一衬底与第二衬底的分离状态。4.如权利要求3所述的衬底分离设备，其中， 所述检测单元包括光学传感器，所述光学传感器配置成从所述第一衬底或所述第二衬底的表面获得所述光学特性信息，并且所述光学传感器配置成包括: 光发射器，用于向所述第一衬底或第二衬底的表面发射光；以及 光接收器，用于接收从所述第一衬底或所述第二衬底的表面反射的光， 其中所述光学特性信息包括所述第一衬底或所述第二衬底的表面的颜色信息，所述光学传感器还配置成获得所述颜色信息。5.如权利要求3所述的衬底分离设备，其中， 所述确定单元还配置成通过将所述光学特性信息与参考光学特性信息相比较，以识别所述第一衬底与所述第二衬底的分离状态，其中所述光学特性信息包括所述第一衬底或所述第二衬底的表面的颜色信息。6.如权利要求3所述的衬底分离设备，其中所述激光照射单元、所述检测单元和所述确定单元中至少之一设置有多个。7.—种衬...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙贞洛，姜镐龙，金桢晧，张硕元，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR