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接合用具、接合装置以及半导体装置制造方法及图纸
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文档序号:11161689
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本发明的实施方式提供通过抑制接合线折断或者剥离而具有高可靠性的接合用具、接合装置和半导体装置。该接合装置具有:端子(3);端子(4);和接合线(5),其具有连接于端子(3)的连接部(11)和连接于端子(4)的连接部(12)并将端子(3)与端...
该专利属于株式会社东芝所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社东芝授权不得商用。
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