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本发明提供一种基板转移暨处理系统及其设备。其中基板转移暨处理设备适用于使一处理液体均匀在一基板上进行制程步骤，基板转移暨处理设备包含：一槽体；至少一反应槽室，设置于槽体内，用来提供处理液体与基板进行制程步骤，每一反应槽室包含一用来容置处理液...
该专利属于亚智科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过亚智科技股份有限公司授权不得商用。

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