温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明的实施方式提供用于执行快速热处理的设备及方法。本发明的一个实施方式提供一种用于处理基板的设备。所述设备包括设置于腔室主体外且被配置以向处理容积提供热能的加热源。基板支撑件界定基板支撑平面，且所述基板支撑件被配置以在基板支撑平面内支撑基...该专利属于应用材料公司;劳伦斯-利弗莫尔国家安全有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司;劳伦斯-利弗莫尔国家安全有限责任公司授权不得商用。