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本实用新型提供一种晶圆对齐装置，所述晶圆对齐装置设有固定装置、移动板和连接所述固定装置和移动板的连接装置，当牵引托板托动所述晶舟盒向上运动时，移动板的底部接触到牵引托板以后，在牵引托板的作用力下，移动板随着所述牵引托板向上运动的同时，会在所...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

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