下载光致酸生成剂、光刻胶、涂覆的基材以及形成电子器件的方法的技术资料

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一种具有通式(1)的光致酸生成剂化合物:其中,n是0或1;以及R1-R6各自独立地是氢、卤素、未取代或取代的C1-20直链或支链烷基、C1-20环烷基、C6-20芳基、C3-20杂芳基或具有以下结构的酸生成基团:其中L是未取代或取代的C1-...
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