下载一种掩模框的搬运装置的技术资料

文档序号:11135148

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本发明公开了一种掩模框的搬运装置,包括夹持机构、支撑机构、连接机构、承载机构以及传送机构,夹持机构固定于支撑机构上,支撑机构通过连接机构与承载机构连接,承载机构通过传送机构传送固定于夹持机构上的所述掩模框;夹持机构包括至少三个夹持装置,支撑...
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