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本发明公开一种含倍半萜内酯的成膜树脂及其负性248nm光刻胶，其共聚物成膜树脂由共聚单体在自由基引发剂存在的条件下，在溶剂中进行共聚反应制备而成，成膜树脂的分子量为4,000~1,00,000，共聚单体主要为下列质量百分含量的化合物：取代苯...
该专利属于昆山西迪光电材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山西迪光电材料有限公司授权不得商用。

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