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金刚石单晶、其制造方法以及单晶金刚石工具技术
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文档序号:11116939
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根据本发明的金刚石单晶是利用化学气相合成法合成且对波长为350nm的光具有25cm-1以上且80cm-1以下的吸收系数的金刚石单晶。根据本发明的制造金刚石单晶的方法包括:将碳以外的离子注入至金刚石单晶籽晶基板的主面中,从而降低波长为800n...
该专利属于住友电气工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过住友电气工业株式会社授权不得商用。
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