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本发明的研磨用组合物含有磨粒、表面吸附剂和水，在研磨由结晶性的金属化合物形成的研磨对象物的用途中使用。研磨用组合物与在研磨用组合物中不包含表面吸附剂的情况相比，研磨后的研磨对象物的表面缺陷减少。...
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