下载工作台装置及输送装置的技术资料

文档序号:11111877

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工作台装置包括(TA):第1基台(1),其具有与规定面平行的第1基准面;第2基台(2),其具有与规定面平行的第2基准面,并能够在第1基准面上沿与规定面内的第1轴线平行的方向移动;第1轴承构件(7),其设于第2基台,具有与第1基准面相对的第1...
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