【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及工作台装置及输送装置。
技术介绍
在输送装置中,使用了例如如专利文献1和专利文献2所公开的、具有能够移动的工作台的工作台装置。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特许第3832084号专利文献2:日本特开2000-136824号
技术实现思路
专利技术要解决的问题在工作台装置中,若工作台的定位精度降低,工作台未配置在期望的位置,则具有该工作台装置的输送装置的性能有可能降低。例如,虽然设为了要使工作台在水平面内笔直地移动,但是在该工作台纵摇的情况下,或者,虽然设为了要使工作台的上表面与水平面平行,但是在工作台的上表面相对于水平面倾斜的情况下,工作台的定位精度有可能降低。其结果,载置于该工作台的物体有可能未配置在期望的位置。本专利技术的目的在于提供能够抑制定位精度降低的工作台装置及输送装置。用于解决问题的方案用于达到上述目的的本专利技术的工作台装置包括:第1基台,其具有与规定面平行的第1基准面;第2基台,其具有与上述规定面平行的第2基准面,并能够在上述第1基准面上沿与上述规定面内的第1轴线平行的方向移动;第1轴承构件,其设于上述第2基台,具有与上述第1基准面相对的第1气体供给口,并利用从上述第1气体供给口供给的气体在该第1轴承构件与上述第1基准面之间形成气体轴承;第2轴承构件,其在同上述规定面内的与上述第1轴线正交的第2轴线平行的方向上远离上述第1轴承构件地设于上述第 ...
【技术保护点】
一种工作台装置,其中,该工作台装置包括:第1基台,其具有与规定面平行的第1基准面;第2基台,其具有与上述规定面平行的第2基准面,并能够在上述第1基准面上沿与上述规定面内的第1轴线平行的方向移动;第1轴承构件,其设于上述第2基台,具有与上述第1基准面相对的第1气体供给口,并利用从上述第1气体供给口供给的气体在该第1轴承构件与上述第1基准面之间形成气体轴承;第2轴承构件,其在同上述规定面内的与上述第1轴线正交的第2轴线平行的方向上远离上述第1轴承构件地设于上述第2基台,具有与上述第1基准面相对的第2气体供给口,并利用从上述第2气体供给口供给的气体在该第2轴承构件与上述第1基准面之间形成气体轴承;以及工作台,其能够在上述第2基准面上沿与上述第2轴线平行的方向移动,在与上述第2轴线平行的方向上,上述第1轴承构件与上述第2轴承构件之间的距离比上述工作台的移动范围的尺寸长。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.07.02 JP 2013-1387311.一种工作台装置,其中,
该工作台装置包括:
第1基台,其具有与规定面平行的第1基准面;
第2基台,其具有与上述规定面平行的第2基准面,并能够在上述第1基
准面上沿与上述规定面内的第1轴线平行的方向移动;
第1轴承构件,其设于上述第2基台,具有与上述第1基准面相对的第1气
体供给口,并利用从上述第1气体供给口供给的气体在该第1轴承构件与上述
第1基准面之间形成气体轴承;
第2轴承构件,其在同上述规定面内的与上述第1轴线正交的第2轴线平
行的方向上远离上述第1轴承构件地设于上述第2基台,具有与上述第1基准
面相对的第2气体供给口,并利用从上述第2气体供给口供给的气体在该第2
轴承构件与上述第1基准面之间形成气体轴承;以及
工作台,其能够在上述第2基准面上沿与上述第2轴线平行的方向移动,
在与上述第2轴线平行的方向上,上述第1轴承构件与上述第2轴承构件
之间的距离比上述工作台的移动范围的尺寸长。
2.根据权利要求1所述的工作台装置,其中,
在与上述第2轴线平行的方向上,以上述工作台的重心在上述第1轴承构
件与上述第2轴承构件之间移动的方式确定上述工作台的移动范围。
3.根据权利要求1或2所述的工作台装置,其中,
该工作台装置包括第1引导构件,该第1引导构件设于上述第1基台,并
用于沿与上述第1轴线平行的方向引导上述第2基台。
4.根据权利要求3所述的工作台装置,其中,
该工作台装置包括第3轴承构件,该第3轴承构件设于上述第2基台,具
有与上述第1引导构件的朝向与上述第2轴线平行的第1方向的第1侧面相对
的第3气体供给口,并利用从上述第3气体供给口供给的气体在该第3轴承构
\t件与上述第1侧面之间形成气体轴承,
上述第1轴承构件具有配置为与上述第1引导构件的朝向上述第1方向的
相反方向的第2侧面相对的第4气体供给口,并利用从上述第4气体供给口供
给的气体在该第1轴承构件与上述第2侧面之间形成气体轴承。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的工作台装置,其中,
该工作台装置包括第2引导构件,该第2引导构件设于上述第2基台,并
用于沿与上述第2轴线平行的方向引导上述工作台。
6.根据权利要求5所述的工作台装置,其中,
该工作台装置包括:
第4轴承构件,其设于上述工作台,具有与上述第2基准面相对的第5气
体供给口和与上述第2引导构件的朝向与上述第1轴线平行的第2方向的第3
侧面相对的第6气体供给口,并利用从上述第5气体供给口供给的气体在该第
...
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