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本实用新型公开了一种用于RIE制绒后的链式清洗设备，包括机台支架、设于机台支架上的滚轮传动系统；所述机台支架上按滚轮传动系统行进方向依次设有背面腐蚀抛光槽、去离子水清洗槽、RIE损伤层腐蚀去除槽、去离子水清洗槽、酸洗槽、去离子水清洗槽、去离...该专利属于苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司授权不得商用。