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常压下提拉法生长大尺寸氧化镓单晶的方法技术
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文档序号:11090701
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本发明涉及一种常压下提拉法生长大尺寸氧化镓单晶的方法,步骤如下:(1)将氧化镓粉末真空干燥,除去吸附的水,并压成料块,得氧化镓胚料;(2)氧化镓籽晶选用<010>、<100>或者<001>方向籽晶,切割、...
该专利属于山东大学所有,仅供学习研究参考,未经过山东大学授权不得商用。
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