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本实用新型属于半导体气敏元件技术领域，具体涉及一种掺氮二氧化钛纳米管氢气传感器，从下至上依次包括：钛片、二氧化钛纳米管阵列层、金属钯层、金属电极层，所述二氧化钛纳米管阵列层为掺氮二氧化钛纳米管阵列层。所述掺氮二氧化钛纳米管氢气传感器在室温下...
该专利属于中国电子科技集团公司第四十八研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第四十八研究所授权不得商用。

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