下载感光性聚硅氧烷组合物及其形成的薄膜与包含薄膜的装置的技术资料

文档序号:11085883

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本发明有关一种感光性聚硅氧烷组合物及其形成的薄膜与包含薄膜的装置。该感光性聚硅氧烷组合物包含:聚硅氧烷聚合物(A)、邻萘醌二迭氮化合物(B)、热碱产生剂(C)以及溶剂(D)。本发明亦提供一种于一基板上形成薄膜的方法、一种基板上的薄膜以及一种...
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