温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种多工件台直写光刻系统，采用并行曝光结构，属于直写式光刻机曝光技术领域。包括在支撑结构上通过扫描方向运动导轨安装的并行式多工件台；以及通过步进方向运动导轨安装的，实现对基板曝光的光路系统。与现有的单工件台直写光刻技术相比，本发...
该专利属于江苏影速光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏影速光电技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。