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本发明公开了一种液刀清洗装置，以提高基板的均一性，进而提高产品品质。液刀清洗装置包括：固定于清洗腔室侧壁的防溅罩；液刀，位于防溅罩的下方；斜挡板，位于防溅罩和液刀之间，斜挡板的较高侧与清洗腔室的侧壁固定连接，斜挡板的较低侧与液刀的刀口顶部固...该专利属于合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。