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本实用新型提供一种废硅粉无害处理装置，属于半导体产业技术领域，废硅粉加料器连接氢气发生器，进水管连通到氢气发生器上，氢气发生器上设置有搅拌机，氢气发生器顶部通过设置有气体流量计的氢气管道连接氢气过滤器，氢气过滤器下游通过氢气管道连接有氢气压...
该专利属于山东清泽能源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东清泽能源有限公司授权不得商用。

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