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本实用新型公开了一种MOCVD集尘过滤器，包括：冷却过滤装置和滤芯过滤装置，所述冷却过滤装置包括：设有进气口和连通出气口的冷却筒、均匀排列设于冷却筒内的至少一层水冷粗滤层、环绕所述水冷粗滤层的至少一根冷却水管，所述冷却水管接入外部水管；所述...
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