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本发明涉及一种工件承载件，该工件承载件包括第一板，其具有第一外径、第一内径及第一凹部，该第一凹部自第一内径向第一外径延伸第一距离。该工件承载件进一步包括第二板，其具有第二外径、第二内径及第二凹部，该第二凹部自第二内径向第二外径延伸第二距离。...该专利属于艾克塞利斯科技公司;威廉·戴维斯·李;凯文·霍伊特;大卫·山;杰森·贝灵哲所有，仅供学习研究参考，未经过艾克塞利斯科技公司;威廉·戴维斯·李;凯文·霍伊特;大卫·山;杰森·贝灵哲授权不得商用。