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高开关比的自对准双栅小带隙半导体晶体管及制备方法技术
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文档序号:11049102
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本发明公开了一种高开关比的自对准双栅小带隙半导体晶体管及制备方法。该结构利用将漏端偏压反馈到辅栅,从而在漏端附近形成一个被钳位的方形势垒,使得大偏压下工作时能很好的抑制漏端少子反向隧穿,故能在保持无掺杂小带隙半导体顶栅器件高性能的同时增大开...
该专利属于北京大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京大学授权不得商用。
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