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本发明公开了用于负性工作厚膜光致抗蚀剂的基于丙烯酸系共聚物的组合物。还包括使用所述组合物的方法。...
该专利属于AZ电子材料卢森堡有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过AZ电子材料卢森堡有限公司授权不得商用。

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