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本发明公开了一种自对准金属硅化物的形成方法，通过两步退火工艺，并在第二次退火工艺中引入氢的同位素气体，利用氢的同位素气体与气氛中的微量氧气发生反应来消除氧气，防止金属硅化物被氧化，从而减少或避免金属硅化物的表面缺陷(如金字塔状)，形成形貌平...
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