专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
株式会社尼康
>
液浸构件及曝光装置制造方法及图纸
>技术资料下载
下载液浸构件及曝光装置的技术资料
文档序号:11032987
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明的液浸构件(5),是在能于光学构件(13)下方移动的物体(P)上形成液浸空间(LS),使得从光学构件的射出面(12)射出的曝光用光(EL)的光路(K)被液体(LQ)充满。液浸构件具备配置在光学构件周围至少一部分的第1构件(21)与能在...
该专利属于株式会社尼康所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社尼康授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。