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一种改进的薄型迭层式功率电感制程，使功率电感包含多层堆栈的螺旋状电感线圈和绝缘层，其在基板上利用微影制程形成螺旋状电感图形，接着以聚酰亚胺(PI)或环氧树脂(Epoxy)干膜作为线圈上方的挡墙，然后于挡墙内经电镀制程使电感线圈的厚度增加，以...
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