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本实用新型涉及一种真空刻蚀线传送装置，包括外框架，架设于两侧外框架之间的旋转杆，所述旋转杆上套设有若干主滚轮，所述主滚轮在所述旋转杆上的分布分为两端的密集区和中部的稀疏区，在所述稀疏区内，两个相邻的主滚轮之间设有至少一个辅助滚轮，所述辅助滚...
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