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一种用于光刻式三维打印机的高数值孔径成像物镜制造技术
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下载一种用于光刻式三维打印机的高数值孔径成像物镜的技术资料
文档序号:11013739
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本发明公开了一种用于光刻式三维打印机的高数值孔径成像物镜,该物镜采用了双远心结构,共10片镜片,工作波段为365nm±10nm。物镜光学物像共轭距为L=350mm,其中物方工作距为85.2mm,像方工作距约为79.5mm。物方有效视场为20...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。
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