下载TFT基板喷淋装置及蚀刻系统的技术资料

文档序号:11005400

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本发明提供一种TFT基板喷淋装置,所述喷射装置包括喷淋轴筒、及用于对所述基板喷淋的至少两种喷嘴;所述至少两种喷嘴设于所述喷淋轴筒外表面并与所述喷淋轴筒内部贯通,并且至少两种喷嘴位于所述喷淋轴筒外周面的不同侧;所述喷淋轴筒内设有沿着喷淋轴筒内...
该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。

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